原装HORIBA堀场排气压力控制器EC-5104 这是一种排气压力控制器，可将腔室的内部压力控制为您选择的恒定值。高分辨率步进电机结构的蝶阀提供高速响应和高分辨率性能。

日本原装HORIBA堀场PV-1000压电阀 一种高速响应阀，用于使用来自外部设备的控制信号来控制气体流量或压力。采用金属膜片和金属O型圈。与气体接触的部件采用全金属结构，兼容超洁净。不仅可以控制气体，还可以控制液体。

北崎HORIBA堀场数显自动压力调节器UR-Z700 这是一款配备数字控制电路的自动压力调节器，该电路使用高精度压力传感器和高分辨率、高速响应压电阀。 采用全金属结构（气体接触部分）和无死体积结构，可对腐蚀性气体和低蒸气压气体进行稳定的压力控制。它可以使用

HORIBA堀场晶圆背面压力控制系统GR-300 GR-300系列对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微压差控制，还可以进行流量测量。

HORIBA堀场GR-511F晶圆背面压力控制系统 GR-511F 对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微小压力控制，还可以进行流量测量。

日本HORIBA堀场液体物料汽化系统MV-2000 这是一种汽化（气化）纯水和液体材料的汽化系统。采用龙卷风流方式的高效汽化，实现低温下的稳定汽化。该模型非常适合作为“液体材料：半导体工艺中使用的高k材料等”的稳定蒸发系统。通过设置用于载气控制的质量流量控制器和用于测量液体物料流量的质量流量计，完成高效的汽化系统。