KASHIYAMA樫山工业SDL3600节能干式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业噪音干式真空泵SDL36E60 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业SDL20E50水封式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业水封式真空泵SDL12E50 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

北崎KASHIYAMA樫山工业SDE603X干式真空泵 采用立式螺杆和特殊材料的高耐腐蚀性、采用单螺杆形状实现节能、多样化的产品线可满足所有流程

KASHIYAMA樫山工业耐加工干式真空泵SDE303X 采用立式螺杆和特殊材料的高耐腐蚀性、采用单螺杆形状实现节能、多样化的产品线可满足所有流程